论述了采用射频磁控溅射技术在316L不锈钢上制备Zr C涂层的技术。通过X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱(XPS)等实验,研究了Zr C涂层的物相、微观结构、表面形貌和元素组成等特征;通过纳米压痕、电化学腐蚀和耐磨性等实验,研究了Zr C涂层的硬度、耐腐蚀性和耐磨性。本论文旨在探究C含量对Zr C涂层结构和性能的影响规律。 涂层的形貌与SAED图谱图3316LSS与镀有ZrC涂层的316LSS的摩擦系数中的Zr存在Zr3d5/2、Zr3d和Zr3d3/2三种形式。随着C含量的增加，Zr-O键中Zr元素的核外电子轨道偏向于Zr3d形式，其他形式的电子轨道的尖峰变化不明显。3.3ZrC涂层的性能在纳米压痕实验研究中，采用的实验工艺参数为：最大压入深度：1000nm；泊松比：0.25；压入速率：10nm/s。样品都经过了加载-稳定-卸载的过程。与裸基体对比涂层的制备与表征-电动折弯机数控滚圆机滚弧机折弯机张家港滚圆机滚弧机折弯机本文由公司网站网站采  转摘采集转载中国知网整理!  http://www.kuoguanji168.com/，制备了ZrC涂层的样品在同样压入到1000nm时，所需要的载荷远大于裸基体，说明ZrC涂层可以显著提高316L不锈钢的硬度。观察各个曲线的卸载阶段可知，四条曲线的残余压入深度分别为：这说明在316L不锈钢基体上制备ZrC涂层可以有效地提高基体弹性性能；C含量不同的ZrC样品的变形行为也明显不同，当C含量为C/Zr=6.7%时，ZrC涂层对316L不锈钢基体弹性模量的提高影响最大。对ZrC涂层进行电化学腐蚀实验的目的是对C含量不同的ZrC涂层的耐腐蚀性进行评定。316L不锈钢基体与C含量不同的ZrC涂层的自腐蚀电位值分别为自腐蚀电流密度分别为316LSS：4.198μA/cm2；C；具备ZrC涂层的316L不锈钢的样品的自腐蚀电位值与自腐蚀电流密度明显低于裸316L不锈钢样品的测试值。在五组测试样中，C含量为C/Zr=7.6%的实验组的Icorr和Ecorr的数值最低。ZrC涂层可以有效地提高316L不锈钢的耐腐蚀性。这表明ZrC涂层涂层的制备与表征-电动折弯机数控滚圆机滚弧机折弯机张家港滚圆机滚弧机折弯机本文由公司网站网站采  转摘采集转载中国知网整理!  http://www.kuoguanji168.com/